等離子清洗機(jī)的等離子體物理反應(yīng)主要有哪些？
文章導(dǎo)讀：等離子清洗機(jī)利用等離子體與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)來(lái)提高材料的表面性能，解決材料清洗難，粘接難與印刷難的問(wèn)題。那么，等離子體物理反應(yīng)主要有哪些？和普樂(lè)斯小伙伴一起來(lái)看看。
等離子清洗機(jī)利用等離子體與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)來(lái)提高材料的表面性能，解決材料清洗難，粘接難與印刷難的問(wèn)題。那么，等離子體物理反應(yīng)主要有哪些？和普樂(lè)斯小伙伴一起來(lái)看看。
1、吸附與解吸
吸附和解吸附對(duì)于等離子過(guò)程是非常重要的，在很多情況下，它們中的一個(gè)或者另一個(gè)往往是表面過(guò)程的決定因素。吸附源于入射分子與表面間的吸引力。吸附分為兩種：物理吸附是源于分子與表面的弱相互作用，它是放熱的，物理吸附的分子與表面的結(jié)合能非常弱，吸附后它們可以迅速地從表面進(jìn)行擴(kuò)散；當(dāng)吸附原子或分子與表面原子形成化學(xué)鍵以后，便構(gòu)成了化學(xué)吸附，此過(guò)程為強(qiáng)放熱過(guò)程。
在等離子體和固體材料表面接觸的界面上，電子、離子、光子及中性粒子將能量傳遞給被吸附在固體材料表面的原子或分子，使這些原子或分子克服吸附力(范德瓦爾斯力或化學(xué)鍵力)而解吸離開(kāi)固體表面,，因此有離子解吸、電子解吸、中性粒子解吸和光解吸，除外還有非等離子體的熱解吸、聲解吸(超聲)。
2、濺射
濺射的物理機(jī)理是動(dòng)量的轉(zhuǎn)移過(guò)程，當(dāng)高能離子或中性粒子（能量大于幾個(gè)電子伏特eV）和固體材料表面作用時(shí)，它們穿過(guò)固體材料表面和固體材料內(nèi)部的晶格原子產(chǎn)生碰撞級(jí)聯(lián)，把能量傳遞給固體材料中的原子或分子，使固體材料內(nèi)的原子或分子獲得高于結(jié)合能的動(dòng)能，從固體材料表面濺射出來(lái),，使雜質(zhì)進(jìn)人到等離子體中，濺射的產(chǎn)額與入射粒子種類(lèi)、能量及靶材料種類(lèi)有關(guān)。
如果入射粒子是離子，則一般來(lái)說(shuō)濺射產(chǎn)額隨離子能量增高而直線上升，后逐漸緩慢達(dá)到極大值.。有些濺射出來(lái)的粒子在等離子體中經(jīng)過(guò)多次碰撞, 又返回到固體材料表面，導(dǎo)致進(jìn)一步的濺射,稱(chēng)自濺射過(guò)程，這一過(guò)程中雜質(zhì)具有更大的質(zhì)量，其產(chǎn)額有時(shí)比原來(lái)的濺射更高。
3、注入
具有一定能量的離子或中性粒子，轟擊固體材料表面，打入固體材料內(nèi)部與固體材料內(nèi)的原子或分子結(jié)合，引起固體結(jié)構(gòu)的變化，增加材料表面的分子量，也可使晶格損傷,，造成缺陷或非晶化等，如利用等離子體使離子注入金屬表面，提高材料的硬度、耐磨、耐腐蝕等性能.。離子注入的特點(diǎn)是注人能量和劑量可控, 以期取得表面改性的最佳效果。
4、刻蝕
等離子體中粒子與表面原子或分子結(jié)合，生成揮發(fā)性的產(chǎn)物，從表面揮發(fā)掉，引起等離子體在固體表面的刻蝕，這個(gè)過(guò)程可以具有化學(xué)選擇性，即只從表面去除一種材料而不影響其他的材料；也可以是各項(xiàng)異性的，去除溝槽底部的材料而不影響側(cè)壁上同樣的材料。
5、復(fù)合
在三體碰撞中，正負(fù)帶電粒子碰撞復(fù)合，第三體便是固體壁(或固體表面)，固體壁加速了復(fù)合過(guò)程。
6、激發(fā)和電離
等離子體和固體表面相互作用時(shí)同樣存在激發(fā)和電離過(guò)程，尤其是在固體表面，被束縛在原子或分子的量子化的能級(jí)上的電子，受到光子或入射電子的轟擊后。會(huì)發(fā)射光電子，發(fā)射出的光電子的內(nèi)能隨對(duì)應(yīng)的能級(jí)不同而形成光電子譜。
等離子清洗機(jī)利用等離子體對(duì)材料表面進(jìn)行改性，主要是利用等離子體與材料表面發(fā)生的物理與化學(xué)反應(yīng)來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行改性，以加強(qiáng)表面性能。今天，我們主要給大家講述的是等離子體與材料表面發(fā)生的物理性能，下一章節(jié)，我們將繼續(xù)給大家講述化學(xué)反應(yīng)具有有哪些！
普樂(lè)斯電子12年專(zhuān)注研制等離子清洗機(jī)，等離子體清洗機(jī)，等離子清洗設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設(shè)備，大氣低溫等離子體表面處理系統(tǒng)，大氣常壓收放卷等離子表面設(shè)備處理，已通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體、汽車(chē)、yi療等領(lǐng)域的客戶(hù)提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴(lài)的等離子清洗機(jī)廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問(wèn)，歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線客服進(jìn)行咨詢(xún)，或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂(lè)斯隨時(shí)恭候您的來(lái)電！
1、吸附與解吸
吸附和解吸附對(duì)于等離子過(guò)程是非常重要的，在很多情況下，它們中的一個(gè)或者另一個(gè)往往是表面過(guò)程的決定因素。吸附源于入射分子與表面間的吸引力。吸附分為兩種：物理吸附是源于分子與表面的弱相互作用，它是放熱的，物理吸附的分子與表面的結(jié)合能非常弱，吸附后它們可以迅速地從表面進(jìn)行擴(kuò)散；當(dāng)吸附原子或分子與表面原子形成化學(xué)鍵以后，便構(gòu)成了化學(xué)吸附，此過(guò)程為強(qiáng)放熱過(guò)程。
在等離子體和固體材料表面接觸的界面上，電子、離子、光子及中性粒子將能量傳遞給被吸附在固體材料表面的原子或分子，使這些原子或分子克服吸附力(范德瓦爾斯力或化學(xué)鍵力)而解吸離開(kāi)固體表面,，因此有離子解吸、電子解吸、中性粒子解吸和光解吸，除外還有非等離子體的熱解吸、聲解吸(超聲)。
2、濺射
濺射的物理機(jī)理是動(dòng)量的轉(zhuǎn)移過(guò)程，當(dāng)高能離子或中性粒子（能量大于幾個(gè)電子伏特eV）和固體材料表面作用時(shí)，它們穿過(guò)固體材料表面和固體材料內(nèi)部的晶格原子產(chǎn)生碰撞級(jí)聯(lián)，把能量傳遞給固體材料中的原子或分子，使固體材料內(nèi)的原子或分子獲得高于結(jié)合能的動(dòng)能，從固體材料表面濺射出來(lái),，使雜質(zhì)進(jìn)人到等離子體中，濺射的產(chǎn)額與入射粒子種類(lèi)、能量及靶材料種類(lèi)有關(guān)。
如果入射粒子是離子，則一般來(lái)說(shuō)濺射產(chǎn)額隨離子能量增高而直線上升，后逐漸緩慢達(dá)到極大值.。有些濺射出來(lái)的粒子在等離子體中經(jīng)過(guò)多次碰撞, 又返回到固體材料表面，導(dǎo)致進(jìn)一步的濺射,稱(chēng)自濺射過(guò)程，這一過(guò)程中雜質(zhì)具有更大的質(zhì)量，其產(chǎn)額有時(shí)比原來(lái)的濺射更高。
3、注入
具有一定能量的離子或中性粒子，轟擊固體材料表面，打入固體材料內(nèi)部與固體材料內(nèi)的原子或分子結(jié)合，引起固體結(jié)構(gòu)的變化，增加材料表面的分子量，也可使晶格損傷,，造成缺陷或非晶化等，如利用等離子體使離子注入金屬表面，提高材料的硬度、耐磨、耐腐蝕等性能.。離子注入的特點(diǎn)是注人能量和劑量可控, 以期取得表面改性的最佳效果。
4、刻蝕
等離子體中粒子與表面原子或分子結(jié)合，生成揮發(fā)性的產(chǎn)物，從表面揮發(fā)掉，引起等離子體在固體表面的刻蝕，這個(gè)過(guò)程可以具有化學(xué)選擇性，即只從表面去除一種材料而不影響其他的材料；也可以是各項(xiàng)異性的，去除溝槽底部的材料而不影響側(cè)壁上同樣的材料。
5、復(fù)合
在三體碰撞中，正負(fù)帶電粒子碰撞復(fù)合，第三體便是固體壁(或固體表面)，固體壁加速了復(fù)合過(guò)程。
6、激發(fā)和電離
等離子體和固體表面相互作用時(shí)同樣存在激發(fā)和電離過(guò)程，尤其是在固體表面，被束縛在原子或分子的量子化的能級(jí)上的電子，受到光子或入射電子的轟擊后。會(huì)發(fā)射光電子，發(fā)射出的光電子的內(nèi)能隨對(duì)應(yīng)的能級(jí)不同而形成光電子譜。
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