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真空等離子清洗機(jī)的真空泵有哪些組合？

返回列表 來源：普樂斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2021-07-28 10:39【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：真空泵組是將2臺(tái)或2臺(tái)以上的真空泵組合在一起，形成一個(gè)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，能夠大大加快抽真空的速度。在真空等離子清洗機(jī)上用到的真空泵組一般有哪些？普樂斯小伙伴今天給大家介紹一下常用的三大類型。

  真空泵組是將2臺(tái)或2臺(tái)以上的真空泵組合在一起，形成一個(gè)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，能夠大大加快抽真空的速度。在真空等離子清洗機(jī)上用到的真空泵組一般有哪些？普樂斯小伙伴今天給大家介紹一下常用的三大類型。

真空泵
 

      1油式泵組 
油式泵組是指旋片式真空泵+羅茨泵旋片式組成的泵組，這類泵組一般運(yùn)用于對(duì)潔凈度要求不是很高且腔體較大的真空等離子清洗機(jī)上。其優(yōu)點(diǎn)有很多：比如能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時(shí)間；結(jié)構(gòu)較為簡單，維護(hù)方便；性價(jià)比較高，具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)。這種泵組是真空等離子清洗機(jī)中最常見的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級(jí)泵組合而成的泵組。

      2 干式泵組
干式泵組由干式螺桿真空泵+羅茨泵組合成，這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級(jí)泵組合成的泵組。一般運(yùn)用于生物醫(yī)療領(lǐng)域、半導(dǎo)體領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等潔凈度要求較高的行業(yè)。因?yàn)槎际怯筛墒秸婵毡媒M合而成的，所以不會(huì)出現(xiàn)油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。

      3 特殊泵組
機(jī)械泵+分子泵就組成了一款特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境，所以分子泵組一般是運(yùn)用在鍍膜機(jī)、刻蝕機(jī)等對(duì)真空環(huán)境要求高的設(shè)備上。分子泵組啟動(dòng)快，抽速非?？欤环肿颖媒M是不會(huì)使用油的，不會(huì)產(chǎn)生油污染；維護(hù)起來相對(duì)簡單。

  真空等離子清洗機(jī)的真空泵有哪些組合？常見的泵組有三種，一種是旋片式真空泵加上羅茨泵；另一種是干式真空泵+羅茨泵；最后一種是機(jī)械泵加上分子泵。

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