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半導(dǎo)體行業(yè)動態(tài),中微擬定投資上海睿勵

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2019-08-22 14:01【
文章導(dǎo)讀:8月21日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微半導(dǎo)體”)發(fā)布公告稱,擬對睿勵科學(xué)儀器(上海)有限公司(以下簡稱“上海睿勵”)進行投資,金額為1375萬元,投資完成后中微半導(dǎo)體持股上海睿勵股權(quán)比例約為10.41%。
資料顯示,上海睿勵是國內(nèi)集成電路工藝檢測設(shè)備供應(yīng)商,目前擁有的主要產(chǎn)品包括光學(xué)檢測設(shè)備、硅片厚度及翹曲測量設(shè)備及子公司宏觀缺陷檢測設(shè)備等。其自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品,已應(yīng)用在28納米芯片生產(chǎn)線并在進行14納米工藝驗證,在3D存儲芯片上達到64層的檢測能力。

中微半導(dǎo)體擬定投資上海睿勵-普樂斯等離子清洗機

目前,上海睿勵的產(chǎn)品已成功進入世界領(lǐng)xian芯片客戶3D閃存芯片生產(chǎn)線,并取得7臺次重復(fù)訂單,是目前進入該國ji領(lǐng)xian芯片生產(chǎn)企業(yè)唯yi的國產(chǎn)集成電路設(shè)備產(chǎn)品。

中微半導(dǎo)體擬定投資上海睿勵-普樂斯等離子清洗機

此前,通過投資國內(nèi)薄膜設(shè)備公司沈陽拓荊科技有限公司,中微半導(dǎo)體在集成電路薄膜設(shè)備領(lǐng)域進行了布局,中微半導(dǎo)體指出,此次投資上海睿勵,是公司聚焦并落實高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟,將進一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。

本文來源:全球半導(dǎo)體觀察
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普樂斯從2011年開始涉足半導(dǎo)體行業(yè)至今已有8年,在光刻膠去除、打線即W/B前清洗和塑封即Molding前活化等工藝方面積累了較為豐富的等離子表面處理經(jīng)驗,合作客戶接近20家,我們正努力成為半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的離子表面處理工藝解決方案服務(wù)商。等離子表面處理過的樣品包括:硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架等。

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    ‌高效徹底‌:能夠深入微納米級孔隙中,徹底清除難以觸及的污染物。

    ‌環(huán)保節(jié)能‌:無需使用化學(xué)溶劑,減少廢水廢氣排放,符合綠色生產(chǎn)要求,且能耗低。

    ‌廣泛適用‌:適用于多種材料表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會對材料性能產(chǎn)生負面影響。

    ‌工藝可控‌:通過調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù),可精確控制清洗過程‌。


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